发布时间:2026-03-19 来源:半导体行业观察

昨日晚间,湖北鼎龙控股股份有限公司(以下简称“公司”、“鼎龙股份”)发布公告,公司控股子公司鼎龙(潜江)新材料有限公司在潜江市江汉盐化工业园投资建设的“年产300吨 KrF/ArF 光刻胶产业化项目”主体厂房及配套设施均已建成,经相关主管部门审核后,已于近期顺利投产。
据介绍,公司“年产 300 吨 KrF/ArF 光刻胶产业化项目”对标国际一流,建成国内首条“有机合成-高分子合成-精制纯化-光刻胶混配”全流程的高端晶圆光刻胶量产线,在产品型号与制程节点覆盖度、核心原材料自制、工程工艺智能化与信息化、搭载光刻机的验证平台资源、供应链管理及核心技术和管理团队配置等方面均具有显著竞争优势:
1、前瞻布局高自动化的柔性产线,支撑多品类市场覆盖:公司现已建成超三十条成品产线,并预留同等规模的扩展空间,可根据市场需求灵活扩容。产品覆盖芯片制造的“全尺寸阵容”,技术水平对标国际一流,切实满足下游晶圆厂客户对关键材料的迫切需求。公司 ArF 和 KrF 光刻胶产品覆盖国内晶圆厂全制程技术节点,广泛应用于高端存储(3D NAND, DRAM)和高性能逻辑器件,具备全场景适配、一站式服务、技术协同迭代等核心优势。
2、解决关键原材料供应难题,破解供应链安全瓶颈:公司建有多条原材料合成线与纯化线,掌握有机合成和高分子合成等核心产线,实现核心树脂、特殊单体、光致产酸剂、淬灭剂等关键原材料的自主供应,攻克国内对于高端光刻胶原材料的供应难题,保障国内高端晶圆光刻胶的供应链的安全稳定。
3、工艺体系高度智能化与信息化,有力保障量产稳定可靠:a) 智能装备集成:硬件配置先进,搭载高灵敏度传感器、控制阀、过程检测设备,洁净化程度和控制精度高,达到国际一流水平;b) 适配性强:先进的自动化控制,自动化操作覆盖率 90%以上,设备预留扩展接口,可快速新增工位或升级设备,适配多品类产品生产切换;c) 数字孪生管控:车间执行层中枢,实时管控生产进度、质量、设备状态,打通计划与现场执行,提升生产效率与可追溯性。d) 质量管理控制体系对标全球一流水平,满足高端晶圆光刻胶量产对全过程稳定性的极高要求,为规模化量产保驾护航。
4、验证评价体系完善,加速产品导入:公司拥有国际一流的ArF-i 和KrF光刻机及配套应用评价实验室,配置了数十种高端分析仪器、评价设备。光刻胶研发和生产控制能力达到国际先进水平,一方面可大幅提升产品研发效率,为快速通过客户测试、实现商业化导入提供强大支撑,另一方面可实现从原材料、生产过程到成品的生产全过程的质量管控,保障产品一致性与稳定性,增强客户信赖。
5、核心人才团队齐备,全力加速产品量产交付:依托鼎龙技术平台的雄厚的有形和无形资产及集团一体化的优势,公司已构建丰厚的高端人才储备,全面覆盖配方设计、有机合成、高分子合成、工程化、化学分析、应用评价和质量管理等关键环节,形成专业互补、协同高效的人才矩阵,保障光刻胶产品从技术研发到规模化量产的全流程高效推进。
综上,鼎龙表示,公司在光刻胶领域竞争优势显著且差异化突出:技术水平对标国际一流,ArF 和 KrF 光刻胶产品在国内实现“全制程”与“全尺寸”覆盖;核心原材料自主供应,供应链安全可控性领先;产线自动化、洁净化、信息化等达到国际一流水平,搭配顶级质控体系保障量产稳定;同时依托全环节高端人才矩阵与鼎龙平台化优势,保障光刻胶产品从研发到量产交付的全流程高效推进。持续构筑全方位的、难以复制的核心竞争壁垒。
鼎龙进一步指出,目前公司已布局超30款高端晶圆光刻胶,涵盖浸没式ArF与KrF等国内核心晶圆厂客户迫切需求的光刻材料,其中过半数已送样给客户验证,已有数款产品实现稳定批量供应,并有多款产品全力冲刺订单。公司“年产300吨KrF/ArF光刻胶产业化项目”的顺利建成投产,标志着公司在高端半导体材料领域取得重大关键突破。此举实现了从关键材料到光刻胶产品的全流程自主可控,不仅能更高效地响应客户需求、实现产品快速且高质量的交付,更将为公司带来新的业绩增长点。该项目的成功落地,是公司迈向新发展阶段的里程碑,将进一步巩固公司在半导体材料领域的平台化战略布局,对推动公司自身成长与完善国内半导体材料市场供应体系均具有重要战略意义。